真空镀膜机的操作是怎样的？

真空镀膜机的操作是怎样的？下面为大家整理了相关的解答，供参考。

真空镀膜机指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类;

包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。思路是分成蒸发和溅射两种。

电控柜操作

1开水泵、气源。

2开总电源。

3开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。

4开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。

5观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子*电源。

机器操作

1总电源。

2同时开电子*控制Ⅰ和电子*控制Ⅱ电源：

按电子*控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。

3开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流12A，偏转电流在1~17之间摆动。

关机顺序

1关高真空表头、关分子泵。

2待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。

3到50以下时，再关维持泵。