JJF(电子)0072-2021非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范
本本规范适用于测试范围在 01Ω·cm~2000Ω·cm(厚度 100 μm~1000μm)的非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统的校准。电阻率测试系统主要是利用无接触电涡流探头系统，检测由被测半导体晶片感应的涡流，辅以控制器进行信号处理完成对半导体晶片电阻率的无损测量。它主要由涡流探头、高频线圈和控制器等部分组成。
标准号：JJF(电子)0072-2021
标准名称：非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范
标准类型：国家标准
标准状态：现行
发布日期：2021-12-02
实施日期：2022-04-01
发布单位：工业和信息化部
JJF(电子)38-1982BP-24、BP-25、BP-30型微波频谱分析仪检定方法
标准号：JJF (电子) 38-1982 标准名称：BP-24、BP-25、BP-30型微波频谱分析仪检定方法 标准类型：国家标准 标准状态：现行 实施日期：1992-10-01 中国标准分类号（CCS）：综合>>计量>>A
JJF(电子)37-1982BP-9型宽带微波频谱分析仪检定方法
标准号：JJF (电子) 37-1982 标准名称：BP-9型宽带微波频谱分析仪检定方法 标准类型：国家标准 标准状态：现行 实施日期：1992-10-01 中国标准分类号（CCS）：综合>>计量>>A56无线电计
JJF(电子)35-1982HL-6型雷达综合测试仪检定方法
标准号：JJF (电子) 35-1982 标准名称：HL-6型雷达综合测试仪检定方法 标准类型：国家标准 标准状态：现行 实施日期：1992-10-01 中国标准分类号（CCS）：综合>>计量>>A56无线电计量
JJF(电子)36-1982ZCL-10B型雷达综合测试仪检定方法
标准号：JJF (电子) 36-1982 标准名称：ZCL-10B型雷达综合测试仪检定方法 标准类型：国家标准 标准状态：现行 实施日期：1992-10-01 中国标准分类号（CCS）：综合>>计量>>A56无线电计量
JJF(电子)34-1982HL-12A型雷达综合测试仪检定方法
标准号：JJF (电子) 34-1982 标准名称：HL-12A型雷达综合测试仪检定方法 标准类型：国家标准 标准状态：现行 实施日期：1992-10-01 中国标准分类号（CCS）：综合>>计量>>A56无线电计量
