JJF(电子)0052-2020半导体工艺用定时器校准规范

2025-06-28

本规范适用于机械型和电子型半导体工艺用定时器的校准。半导体工艺用定时器是一种用于半导体生产过程中控制时间的机械或者电子装置,主要应用于半导体生产工艺过程中的电镀、超声清洗等控制领域。它分为机械型定时器和电子型定时器。

标准号:JJF(电子)0052-2020

标准名称:半导体工艺用定时器校准规范

标准类型:国家标准

标准状态:现行

发布日期:2020-12-09

实施日期:2020-12-31

发布单位:工业和信息化部

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