2025-06-28
标准号:GB/T 41652-2022
标准名称:刻蚀机用硅电极及硅环
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2022-07-11
实施日期:2023-02-01
发布单位:国家市场监督管理总局
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