GB/T4061-1983硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。

标准号：GB/T 4061-1983

标准名称：硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

英文名称：Polycrystalline silicon; Examination method; Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1983-01-02

实施日期：1984-01-02

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H25金属化学性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704030金属材料化学分析

替代以下标准：被GB/T 4061-2009代替

起草单位：峨嵋半导体材料厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家标准局