GB/T4060-2007硅多晶真空区熔基硼检验方法

本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的试验。

标准号：GB/T 4060-2007

标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法

英文名称：Polycrystalline silicon—Examination method—Vacuum zone-melting on boron

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：2007-12-18

实施日期：2008-02-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704001金属材料试验综合

替代以下标准：替代GB/T 4060-1983;被GB/T 4060-2018代替

起草单位：峨眉半导体材料厂

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫