GB/T4060-1983硅多晶真空区熔基硼检验方法

本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。

标准号：GB/T 4060-1983

标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法

英文名称：Polycrystalline silicon; Examination method; Vacuum zone-melting on boron

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1983-01-02

实施日期：1984-01-02

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704030金属材料化学分析

替代以下标准：被GB/T 4060-2007替代

起草单位：峨嵋半导体材料厂

归口单位：中国有色金属工业协会

发布单位：国家标准局