GB/T4059-2018硅多晶气氛区熔基磷检验方法

本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数)的测定，测定范围为001×1013cm-3～500×1013cm-3。

标准号：GB/T 4059-2018

标准名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法

英文名称：Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2018-12-28

实施日期：2019-11-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>77040金属材料试验

替代以下标准：替代GB/T 4059-2007

起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、亚洲硅业(青海)有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、新特能源股份有限公司等

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全

发布单位：国家市场监督管理总局