GB/T39163-2020靶材与背板结合强度测试方法

本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。

标准号：GB/T 39163-2020

标准名称：靶材与背板结合强度测试方法

英文名称：Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2020-11-19

实施日期：2021-10-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H22金属力学性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：试验>>19060机械试验

起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位：国家市场监督管理总局