GB/T39144-2020氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法

本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析，测定范围为不小于5×1014cm-3。

标准号：GB/T 39144-2020

标准名称：氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法

英文名称：Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2020-10-11

实施日期：2021-09-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>77040金属材料试验

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全

发布单位：国家市场监督管理总局