GB/T38341-2019微机电系统（MEMS）技术MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。 本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。

标准号：GB/T 38341-2019

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2019-12-31

实施日期：2020-04-01

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

发布单位：国家市场监督管理总局