GB/T37213-2018硅晶锭尺寸的测定激光法

本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法,包括对角线、倒角、垂直度、边长和长度。?本标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量。
标准号:GB/T 37213-2018
标准名称:硅晶锭尺寸的测定 激光法
英文名称:Test method for silicon brick dimension—Laser technology method
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2018-12-28
实施日期:2019-11-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
国际标准分类号(ICS):冶金>>77040金属材料试验
起草单位:苏州协鑫光伏科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、山东大海新能源发展有限公司
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全
发布单位:国家市场监督管理总局
