GB/T37053-2018氮化镓外延片及衬底片通用规范

2025-06-28

规定了氮化镓外延片(以下简称外延片)及氮化镓衬底片(以下简称衬底片)的通用规范,包括产品分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等

标准号:GB/T 37053-2018

标准名称:氮化镓外延片及衬底片通用规范

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2018-12-28

实施日期:2019-07-09

国际标准分类号(ICS):电气工程>>29045半导体材料

发布单位:国家市场监督管理总局

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