GB/T36401-2018表面化学分析X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告

本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。

标准号：GB/T 36401-2018

标准名称：表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告

英文名称：Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Reporting of results of thin-film analysis

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2018-06-07

实施日期：2019-05-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104040化学分析

起草单位：厦门荷清教育咨询有限公司、清华大学化学系

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布单位：国家市场监督管理总局