GB/T34091-2017电子工业用气体六氟乙烷

本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求，试验方法、包装、标志、贮存、运输和安全。 本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。

标准号：GB/T 34091-2017

标准名称：电子工业用气体 六氟乙烷

英文名称：Gas for electronic industry—Hexafluoroethane

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2017-07-31

实施日期：2017-11-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

起草单位：浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川中测标物科技有限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、天津长芦华信化工股份有限公司等

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布单位：国家质量监督检验检疫