GB/T33922-2017MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

本标准规定了MEMS压阻式压力敏感芯片（简称压力敏感芯片）的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验内容和方法。 本标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。

标准号：GB/T 33922-2017

标准名称：MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

英文名称：Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2017-07-12

实施日期：2018-02-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京必创科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布单位：国家质量监督检验检疫