GB/T33763-2017蓝宝石单晶位错密度测量方法

本标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。? 本标准适用于抛光加工后位错密度为0个/cm2～100 000个/cm2的蓝宝石单晶位错密度的测量，检测面为{0001}、{1120}、{1012}、{1010}面。

标准号：GB/T 33763-2017

标准名称：蓝宝石单晶位错密度测量方法

英文名称：Test method for dislocation density of sapphire single crystal

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2017-05-31

实施日期：2017-12-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H25金属化学性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>77040金属材料试验

起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、深圳市中安测标准技术有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全

发布单位：国家质量监督检验检疫