GB/T31854-2015光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法

本标准规定了利用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定光伏电池用硅材料中痕量体金属杂质含量的方法。本标准适用于光伏电池用硅材料中痕量体金属杂质铁、铬、镍、铜、锌含量的测定。各元素的测量范围见表1。

标准号：GB/T 31854-2015

标准名称：光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法

英文名称：Test method for measuring metallic impurities content in silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-07-03

实施日期：2016-03-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料

发布单位：国家质量监督检验检疫