GB/T31352-2014蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片）翘曲度的测试方法提要、干扰因素、仪器和设备、试样、测试环境、测试程序、测试结果的计算、精密度以及试验报告。 本标准适用于直径508mm～3048mm，厚度为不小于200μm的蓝宝石衬底片翘曲度的测试。

标准号：GB/T 31352-2014

标准名称：蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

英文名称：Test methods for warp of sapphire substrates

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-12-31

实施日期：2015-09-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704099金属材料的其他试验方法

起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全

发布单位：国家质量监督检验检疫