GB/T30901-2014高纯氟化铵溶液

本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。

标准号：GB/T 30901-2014

标准名称：高纯氟化铵溶液

英文名称：High purity ammonium fluoride solution for industrial use

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-07-08

实施日期：2014-12-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>无机化工原料>>G12无机盐

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>无机化学>>7106050盐

起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、巨化集团技术中心、山东兴氟新材料有限公司、中海油天津化工研究设计院、国家无机盐产品质量监督检验中心

归口单位：全国化学标准化技术委员会无机化工分会(SAC/TC63/SC1)

发布单位：国家质量监督检验检疫