GB/T30701-2014表面化学分析硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定

本标准规定了硅片工作标准样品表面元素铁和/或镍的化学收集方法(气相分解法或直接酸性液滴分解法)和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定。注:可采用石墨炉原子吸收光谱法或电感耦合等离子体质谱法代替全反射X 射线荧光光谱法来测定所收集的元素。本标准适用于原子表面密度介于6×109atoms/cm2~5×1011atoms/cm2 范围的铁和/或镍。

标准号：GB/T 30701-2014

标准名称：表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定

英文名称：Surface chemical analysis—Chemical methods for the collection of elements from the surface of silicon-wafer working reference materials and their determination by total-reflection X-ray fluorescence(TXRF) spectroscopy

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-06-09

实施日期：2014-12-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104040化学分析

起草单位：中国计量科学研究院。

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)

发布单位：国家质量监督检验检疫