GB/T30116-2013半导体生产设施电磁兼容性要求

本标准规定了为保证半导体生产设施与用于生产半导体器件的设备能一起可靠运行的电磁兼容性(EMC)要求。本标准适用于生产半导体器件的设施和设备,这些设施和设备涵盖所有的设施警报、安全、通信与控制系统、工艺设备、测量设备、自动化设备以及信息技术设备。本标准不适用于集成电路的封装与功能测试所采用的设备和设施,也不适用于可能在半导体生产过程中产生的静电。

标准号：GB/T 30116-2013

标准名称：半导体生产设施电磁兼容性要求

英文名称：Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2013-12-17

实施日期：2014-04-15

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合

国际标准分类号（ICS）：31550

起草单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院、安徽鑫阳电子有限公司

归口单位：全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布单位：国家质量监督检验检疫