GB/T29852-2013光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

本标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析,其中磷、砷和锑的浓度均大于1×1014atoms/cm3。

标准号：GB/T 29852-2013

标准名称：光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

英文名称：Test method for measuring phosphorus,arsenic and antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2013-11-12

实施日期：2014-04-15

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布单位：国家质量监督检验检疫