GB/T29190-2012扫描探针显微镜漂移速率测量方法

本标准规定了SPM 漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM 扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于001nm/s到10nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。

标准号：GB/T 29190-2012

标准名称：扫描探针显微镜漂移速率测量方法

英文名称：Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2012-12-31

实施日期：2013-06-01

中国标准分类号（CCS）：综合>>计量>>A60光学计量

国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>光学和光学测量>>1718099有关光学和光学测量的其他标准

起草单位：中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院

归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。

发布单位：国家质量监督检验检疫