GB/T28632-2012表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率测定

本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1μm 的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20nm,小于1μm 的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50nm 的仪器。附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。

标准号：GB/T 28632-2012

标准名称：表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定

英文名称：Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2012-07-31

实施日期：2013-02-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104040化学分析

起草单位：上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布单位：国家质量监督检验检疫