GB/T28276-2012硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范

本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。

标准号：GB/T 28276-2012

标准名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范

英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for dissolved wafer process

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2012-05-11

实施日期：2012-12-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

起草单位：中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布单位：国家质量监督检验检疫