GB/T27760-2011利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。

标准号：GB/T 27760-2011

标准名称：利用Si（111）晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

英文名称：Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic step

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2011-12-30

实施日期：2012-05-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>仪器、仪表综合>>N04基础标准与通用方法

国际标准分类号（ICS）：试验>>19020试验条件和规程综合

起草单位：国家纳米科学中心

归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)

发布单位：国家质量监督检验检疫