GB/T26250-2010电子工业用气体　砷化氢

本标准规定了砷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。

标准号：GB/T 26250-2010

标准名称：电子工业用气体　砷化氢

英文名称：Gases for electronic industry—Arsine

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2011-01-14

实施日期：2011-05-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

起草单位：西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/T

发布单位：国家质量监督检验检疫