GB/T26113-2010微机电系统（MEMS）技术　微几何量评定总则

本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。

标准号：GB/T 26113-2010

标准名称：微机电系统（MEMS）技术　微几何量评定总则

英文名称：Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

起草单位：中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布单位：国家质量监督检验检疫