GB/T25755-2010真空技术溅射离子泵性能参数的测量

本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。本标准测量体积流率的压力范围从15×10-3 Pa到1×10-7 Pa。

标准号：GB/T 25755-2010

标准名称：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

英文名称：Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2010-12-23

实施日期：2011-10-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

国际标准分类号（ICS）：流体系统和通用件>>23160真空技术

起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)

发布单位：国家质量监督检验检疫