GB/T22572-2008表面化学分析二次离子质谱用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。

标准号：GB/T 22572-2008

标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

英文名称：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2008-12-11

实施日期：2009-10-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104040化学分析

起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫