GB/T18994-2003电子工业用气体高纯氯

本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。

标准号：GB/T 18994-2003

标准名称：电子工业用气体 高纯氯

英文名称：Gases for electronic industry—High purity chlorine

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：2003-03-05

实施日期：2003-08-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：被GB/T 18994-2014代替

起草单位：光明化工研究设计院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫