GB/T18032-2000砷化镓单晶AB微缺陷检验方法

本标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷的检验方法。本标准适用于砷化镓单晶AB微缺陷密度的检验。

标准号：GB/T 18032-2000

标准名称：砷化镓单晶AB微缺陷检验方法

英文名称：The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2000-04-03

实施日期：2000-09-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H24金相检验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704001金属材料试验综合

起草单位：北京有色金属研究总院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术质量监督局