GB/T16527-1996硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂

本标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。本标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。

标准号：GB/T 16527-1996

标准名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂

英文名称：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1996-09-09

实施日期：1997-05-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

起草单位：长沙韶光微电子总公司

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局