GB/T16524-1996光掩模对准标记规范

本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。

标准号：GB/T 16524-1996

标准名称：光掩模对准标记规范

英文名称：Specification for registration marks for photomasks

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1996-09-09

实施日期：1997-05-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

起草单位：中国科学院微电子中心

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局