GB/T15871-1995硬面光掩模基板

本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板。

标准号：GB/T 15871-1995

标准名称：硬面光掩模基板

英文名称：Hard surface photomask substrates

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1995-01-02

实施日期：1996-08-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备

国际标准分类号（ICS）：31030

起草单位：长沙韶光微电子总公司

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局