GB/T15615-1995硅片抗弯强度测试方法

本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片的抗弯强度测试方法。本标准适用于晶向为〈111〉和〈100〉的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250～900μm。

标准号：GB/T 15615-1995

标准名称：硅片抗弯强度测试方法

英文名称：Test method for measuring flexure strength of silicon slices

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1995-07-12

实施日期：1996-02-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H23金属工艺性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704001金属材料试验综合

起草单位：中南工业大学

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局