GB/T1558-1997硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

本标准规定了硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法。

标准号：GB/T 1558-1997

标准名称：硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法

英文名称：Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1997-01-02

实施日期：1998-08-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：替代GB 1558-1983;被GB/T 1558-2009代替

起草单位：峨嵋半导体材料研究所

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局