GB/T1557-2006硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。本标准适用于室外温电阻率大于01Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于05Ω·cm中间的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固熔度。

标准号：GB/T 1557-2006

标准名称：硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

英文名称：The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：2006-07-18

实施日期：2006-11-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704030金属材料化学分析

替代以下标准：替代GB/T 14143-1993;GB/T 1557-1989;被GB/T 1557-2018代替

起草单位：峨眉半导体材料厂

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

发布单位：质量监督检验检疫总局