GB/T1555-2009半导体单晶晶向测定方法

本标准规定了半导体单晶晶向X 射线衍射定向和光图定向的方法。本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的表面取向。

标准号：GB/T 1555-2009

标准名称：半导体单晶晶向测定方法

英文名称：Testing methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：替代GB/T 1555-1997

起草单位：峨嵋半导体材料厂

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫