GB/T14600-1993电子工业用气体氧化亚氮

本标准规定了电子工业用气体——瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存要求。本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。

标准号：GB/T 14600-1993

标准名称：电子工业用气体 氧化亚氮

英文名称：Gases for electronic industry Nitrous oxide

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-08-26

实施日期：1994-07-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：被GB/T 14600-2009代替

起草单位：化工部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局