GB/T14264-2009半导体材料术语

本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。本标准适用于元素和化合物半导体材料。
标准号:GB/T 14264-2009
标准名称:半导体材料术语
英文名称:Semiconductor materials—Terms and definitions
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合
国际标准分类号(ICS):电气工程>>29045半导体材料
替代以下标准:替代GB/T 14264-1993
起草单位:洛阳单晶硅有限责任公司、峨眉半导体材料厂、宁波立立电子股份有限公司等
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
发布单位:国家质量监督检验检疫
