GB/T14264-1993半导体材料术语

本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。本标准适用于素和化合物半导体材料。
标准号:GB/T 14264-1993
标准名称:半导体材料术语
英文名称:Semiconductor materials-Terms and definitions
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:作废
发布日期:1993-03-20
实施日期:1993-01-02
中国标准分类号(CCS):冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合
国际标准分类号(ICS):2904030
替代以下标准:被GB/T 14264-2009代替
起草单位:中国有色金属总公司标准所
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位:国家技术监督局
