GB/T14015-1992硅--蓝宝石外延片

本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。

标准号：GB/T 14015-1992

标准名称：硅--蓝宝石外延片

英文名称：Silicon on sapphire epitaxial wafers

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1992-01-02

实施日期：1993-08-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料

国际标准分类号（ICS）：2904030

起草单位：天津半导体技术研究所

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局