GB/T13843-1992蓝宝石单晶抛光衬底片

本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。

标准号：GB/T 13843-1992

标准名称：蓝宝石单晶抛光衬底片

英文名称：Polished monocrystalline sapphire substrates

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1992-01-02

实施日期：1993-08-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料

国际标准分类号（ICS）：2904030

替代以下标准：废止公告：国家标准公告2017年第31号

起草单位：天津半导体技术研究所

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局