KSIISO14644-2-2007洁净室和相关控制环境.第2部分:与KSMISO14644-1连续相配位的检测报告和监控规范

标准号:KS I ISO 14644-2-2007
标准名称: 洁净室和相关控制环境第2部分:与KS M ISO 14644-1连续相配位的检测和监控规范
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2:Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with KS M ISO 14644-1
标准类型:国外标准
标准状态:现行
发布日期:2007-10-31
实施日期:2007-10-31
中国标准分类号(CCS):C04
国际标准分类号(ICS):1304035
