KSIISO14644-2-2007洁净室和相关控制环境.第2部分:与KSMISO14644-1连续相配位的检测报告和监控规范

2026-02-07

标准号:KS I ISO 14644-2-2007

标准名称: 洁净室和相关控制环境第2部分:与KS M ISO 14644-1连续相配位的检测和监控规范

英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2:Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with KS M ISO 14644-1

标准类型:国外标准

标准状态:现行

发布日期:2007-10-31

实施日期:2007-10-31

中国标准分类号(CCS):C04

国际标准分类号(ICS):1304035

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