KSDISO18114-2005表面化学分析.次级离子质谱法.测定离子注入标样中的相对灵敏度系数

标准号：KS D ISO 18114-2005

标准名称： 表面化学分析次级离子质谱法测定离子注入标样中的相对灵敏度系数

英文名称：Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials

标准类型：国外标准

标准状态：现行

发布日期：2005-12-28

实施日期：2005-12-28

中国标准分类号（CCS）：G04

国际标准分类号（ICS）：7104040