KSDISO14237-2003表面化学分析.次级离子质谱法.使用非均一掺杂材料的硅中硼原子的浓度测定

2026-02-07

标准号:KS D ISO 14237-2003

标准名称: 表面化学分析次级离子质谱法使用非均一掺杂材料的硅中硼原子的浓度测定

英文名称:Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

标准类型:国外标准

标准状态:现行

发布日期:2003-10-06

实施日期:2003-10-06

中国标准分类号(CCS):G04

国际标准分类号(ICS):7104040

KSDISO14237-2003表面化学分析.次级离子质谱法.使用非均一掺杂材料的硅中硼原子的浓度测定
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