JEDECJEP139-2000老化应力松弛特征化铝互连线金属喷镀

2026-02-07

标准号:JEDEC JEP139-2000

标准名称: 老化应力松弛特征化铝互连线金属喷镀

英文名称:Constant Temperature Aging to Characterize Aluminum Interconnect Metallization for Stress-Induced Voiding

标准类型:国外标准

标准状态:现行

中国标准分类号(CCS):L93

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