DINEN60204-33-2011电力机械设备的安全.第33部分:对半导体制造设备的要求(IEC60204-33-2009,修改版);德文版本EN60204-33-2011
标准号：DIN EN 60204-33-2011
标准名称： 电力机械设备的安全第33部分:对半导体制造设备的要求(IEC 60204-33-2009,修改版);德文版本EN 60204-33-2011
英文名称：Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment (IEC 60204-33:2009, modified); German version EN 60204-33:2011
标准类型：国外标准
标准状态：现行
发布日期：2011-11-01
实施日期：2011-11-01
中国标准分类号（CCS）：J09
国际标准分类号（ICS）：13110
DINEN60297-3-107-2012电子设备机械结构.482.6mm(19in)系列的机械结构尺寸规格.第3-107部分:小波形因数的插箱和插件尺寸规格(IEC60297-3-107-2012)
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